FEI Prisma E сканирующий микроскоп
- Prisma E – сканирующий электронный микроскоп, который обеспечивает полное представление о любом образце: изображения в композиционном и топографическом режимах можно легко дополнить определением свойств материала и его элементного состава, установив вспомогательное оборудование
- Разрешение электронного микроскопа достигает 3 нм, а возможность работы в режиме, как высокого вакуума и низкого вакуума, так и в режиме «естественной среды» позволяют работать практически с любыми образцами
- Отвечая на вызовы научной работы наших дней, микроскопы серии Prisma не ограничивают исследователя, позволяя получать высококачественные изображения и достоверные результаты анализа при работе с самыми сложными материалами
FEI Prisma E сканирующий микроскоп
Сканирующий микроскоп FEI Prisma E представляет продукцию производства "Thermo Fisher Scientific". Установка является стационарным оборудованием и подлежит применению в лабораторных условиях. Применяется для научно-исследовательских работ в академических и промышленных лабораториях, не требует особого уровня подготовки операторов.
Микроскоп предназначен для различных сфер применения. Микроскоп полезен для анализа и ведения технологических процессов в металлургии, для контроля сварных швов, сверхпроводящих изделий и полезных ископаемых. В общем случае применим в геологии, биологии и в медицине. Вакуумные режимы позволяют не подготавливать образцы перед анализом и проводить исследования без дополнительных временных затрат. Высокое разрешение до 3 нм обеспечивается тетродной электронной пушкой с катодом из вольфрама и позволяет получать контрастные изображения благодаря детекторам с высокой чувствительностью.
Управление микроскопом реализовано при помощи интегрированного контроллера и ПЭВМ с применением специального программного обеспечения. Программное обеспечение обладает закрытым доступом для защиты от несанкционированных действий со стороны пользователя во избежание нарушений метрологических характеристик.
- FEI Prisma E сканирующий микроскоп
- Онлайн-руководство пользователя
- Руководство по эксплуатации
- Программное обеспечение для дистанционного управления
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Тип микроскопа |
Сканирующий |
|
Область применения |
Материаловедение |
|
Направление деятельности |
2D-анализ |
|
Объекты интереса |
101 нм – 100 мкм |
|
Характеристики электронной пушки |
|
|
Тип катода |
Термоэмиссионный (вольфрамовый) |
|
Максимальное разрешение, нм |
3 |
|
Диапазон ускоряющего напряжения, В |
200–30 000 |
|
Минимальная энергия приземления электронов, эВ |
20 |
|
Максимальный ток зонда, нА |
2 000 |
|
Предметный столик |
|
|
Тип столика |
|
|
Мультифункциональный на 18 держателей 12 мм |
Опция |
|
На 18 держателей 12 мм |
Наличие |
|
На 7 держателей 12 мм |
Нет |
|
Пьезо |
Нет |
|
Механический |
Наличие |
|
Максимальный вес образца, г |
500 |
|
Максимальный размер образца, Ø мм |
122 |
|
Ход по осям X и Y, мм |
110 × 110 |
|
Воспроизводимость по осям X и Y, мкм |
< 3,0 |
|
Ход по оси Z, мм |
65 |
|
Поворот, град. |
360 |
|
Наклон, град. |
-15 / +90 |
|
Ширина камеры, мм |
340 |
|
Количество портов для установки дополнительных детекторов, шт.) |
12 |
|
Детекторы |
|
|
Детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (ETD) |
Наличие |
|
ИК-камера для наблюдения положения образца в камере |
Наличие |
|
Навигационная камера высокого разрешения Nav-Cam+™ |
Опция |
|
Интегрированная система измерения тока луча |
Опция |
|
Детектор вторичных электронов для низкого вакуума (LVD) |
Наличие |
|
Газовый детектор вторичных электронов для режима ESEM |
Наличие |
|
T1 – нижний внутрилинзовый детектор |
Нет |
|
T2 – верхний внутрилинзовый детектор |
Нет |
|
T3 – внутриколонный детектор |
Нет |
|
Внутрилинзовый детектор Elstar SE/BSE (TLD-SE, TLD-BSE) |
Нет |
|
Внутриколонный детектор Elstar SE/BSE (ICD) |
Опция |
|
Внутриколонный детектор Elstar BSE (MD) |
Нет |
|
Детектор направленных обратно-отраженных электронов (DBS) |
Опция |
|
Газовый аналитический детектор обратно-отраженных электронов DBS-GAD |
Нет |
|
Аналитический ESEM-детектор DBS-ESEM |
Нет |
|
Детектор прошедших электронов STEM 3+ |
Опция |
|
Детектор для катодолюминесценции (CL) |
Опция |
|
Детектор Raman |
Опция |
|
ЭДС |
Опция |
|
ДОРЭ/ВДС |
Опция |
|
Режимы вакуума: |
|
|
Высокий вакуум, Па |
< 6,0 × 10 ⁻ ⁴ |
|
Низкий вакуум, Па |
200 |
|
Режим естественной среды (влажность 100 %), Па |
4 000 |
